Ngành công nghiệp bán dẫn toàn cầu tuyên bố loại bỏ dần việc sử dụng có chủ đích PFOA

Thứ ba, ngày 09 tháng 07 năm 2024, 11:00 sáng

qua Alex GordonQuản lý, Các vấn đề chính phủ

Hội đồng Bán dẫn Thế giới (WSC) đã công bố vào tháng trước rằng họ đã hoàn thành thành công việc loại bỏ dần việc sử dụng cố ý axit perfluorooctanoic (PFOA), muối của nó và các hợp chất liên quan đến PFOA trong các quy trình quang khắc hoặc khắc. Do đó, WSC đã báo cáo với Ủy ban Đánh giá các chất ô nhiễm hữu cơ khó phân hủy của Công ước Stockholm của Liên hợp quốc (POP-RC) rằng, kể từ năm 2023, ngành công nghiệp bán dẫn không còn cần phải miễn trừ các hạn chế nữa. “Sử dụng cố ý” có nghĩa là một chất được sử dụng một cách có chủ đích cho một chức năng cụ thể hoặc để đạt được một đặc tính cụ thể.

Việc loại bỏ này là một thành tựu quản lý môi trường lớn đối với ngành công nghiệp bán dẫn trên toàn thế giới. WSC đã nỗ lực quản lý và thay thế các cách sử dụng PFOA này trong hơn một thập kỷ, với cam kết vào năm 2018 sẽ loại bỏ dần việc sử dụng PFOA có chủ đích. Các nhà sản xuất chip đã làm việc với các nhà cung cấp của họ trong nhiều năm và đầu tư đáng kể các nguồn lực và chuyên môn kỹ thuật để xác định, đủ điều kiện và tích hợp các hóa chất thay thế đáp ứng các yêu cầu khắt khe về hiệu suất.

Liên quan đến chính sách tương lai và các hành động của ngành, các hiệp hội bán dẫn toàn cầu đã viết thư cho UN POP-RC:

Như chúng tôi đã thông báo cho Ban thư ký và POP-RC trước đây, ngành công nghiệp bán dẫn phụ thuộc vào các hóa chất (như PFAS chuỗi ngắn) có các đặc tính hóa học và vật lý cụ thể và các thuộc tính chức năng cần thiết để sản xuất các thiết bị bán dẫn. Hiện tại không có giải pháp thay thế nào được biết đến cho nhiều loại hóa chất này để sử dụng trong các quy trình sản xuất của chúng tôi. Vì lý do này, việc thay thế các hóa chất này có thể khó khăn hơn cả những thách thức về PFOS và PFOA. Ngành công nghiệp này đã chứng minh được thành tích sử dụng và quản lý hóa chất có trách nhiệm, bao gồm giảm thiểu khí thải, xác định và triển khai các chất thay thế, và giảm sử dụng các hóa chất này khi và khi có thể. Chúng tôi sẽ tiếp tục công việc này trong tương lai.

Mặc dù việc loại bỏ PFOA cố ý thêm vào trong sản xuất chất bán dẫn, nghiên cứu bổ sung sẽ rất quan trọng để giảm sự hiện diện của PFOA trong môi trường. Hai ấn phẩm gần đây chỉ ra rằng PFOA đã được phát hiện trong một số dòng nước thải chế tạo.

Mặc dù việc hoàn thành giai đoạn loại bỏ này là một bước tiến quan trọng, vẫn còn nhiều việc phải làm để giải quyết những thách thức do việc sử dụng các hóa chất đáng lo ngại trong sản xuất chất bán dẫn, bao gồm các loại PFAS khác.

Nhiều năm trước, SIA đã thành lập Semiconductor PFAS Consortium, một nhóm các công ty và nhà cung cấp chất bán dẫn tham gia giải quyết các vấn đề kỹ thuật liên quan đến việc ngành công nghiệp sử dụng PFAS trong quy trình sản xuất. Consortium đã công bố nhiều bài báo về việc sử dụng PFAS trong ngành công nghiệp bán dẫn, các đặc tính hóa học và vật lý của các hóa chất này trong việc giải quyết các nhu cầu hiệu suất độc đáo của ngành công nghiệp bán dẫn và những thách thức trong việc tìm kiếm các giải pháp thay thế cho các hóa chất này đáp ứng các yêu cầu chức năng của quy trình chế tạo chất bán dẫn. Các bài báo cũng ghi nhận rằng cần phải có thêm nhiều công việc để cải thiện các công nghệ phát hiện, phương pháp xử lý và tiêu hủy, tối ưu hóa quy trình và hệ thống giảm thiểu. Nghiên cứu của Semiconductor PFAS Consortium chỉ ra rằng việc thay thế các PFAS khác bằng các giải pháp thay thế cũng sẽ phức tạp và tốn thời gian tương tự, từ 5-25 năm hoặc hơn, mà không có gì đảm bảo thành công trong tất cả hoặc bất kỳ ứng dụng nào.

Vào năm 2017, WSC cũng đã công bố việc loại bỏ dần việc sử dụng axit perfluorooctane sulfonic (PFOS), một PFAS chuỗi dài khác có các đặc tính đáng lo ngại. Thông tin cơ bản bổ sung về việc loại bỏ dần PFOA và PFOS có trong sách trắng của Semiconductor PFAS Consortium: “PFOS và PFOA Conversion to Short-Chain PFAS-Containing Materials Used in Semiconductor Manufacturing.”